征稿通知 “ 半导体配备取零部件手艺前沿 ”专

　　JME学院是由《机械工程学报》编纂部2018年建立，以关心、陪同青年学者成长为旨，勤奋摸索学术办事新模式。

　　陈修国，华中科技大学机械学院传授、博士生导师。次要处置光学纳米丈量手艺取仪器，集成电制制正在线丈量手艺取配备，先辈仪器研制取新型光电、能源材料表征丈量等方面的研究工做。近年来，做为担任人掌管国度天然科学基金5项，做为人员参取国度天然科学基金严沉科研仪器研制项目、首批国度严沉科学仪器设备开辟专项、国度科技严沉专项等国度级科研项目10余项。授权国际国内发现专项40余项，颁发SCI论文100余篇。

　　半导体配备的手艺前进是集成电制程工艺机能提拔取节点延长的环节，不单间接关系到半导体财产的成长，还间接影响消息通信、汽车电子、人工智能等计谋新兴财产成长取国防平安。

　　(2) 格局要求：word 排版，合适《机械工程学报》中文版格局要求（拜见本刊官网下载核心的中文模板和论文点窜提醒）。

　　，传授，博士生导师。次要处置先辈电子封拆手艺取配备方面的研究。掌管国度天然科学基金委优良青年基金项目、国度沉点研发打算项目等20多项。出书专著1部，正在Nature Communications等颁发SCI论文80多篇；获发现专利授权140多件，此中第一发现人获美国发现专利授权15件。担任中国机械工程学会半导体配备分会副从任委员等。做为次要完获国度科技前进二等、广东省手艺发现一等、中国机械工业科学手艺一等、广东专利金等。

　　杨旭，西安交通大学传授，国度高条理海外青年人才。博士结业于日本大阪大学，曾任大阪大学细密工学系特任帮理传授。持久处置半导体晶圆超细密加工方式及设备工艺开辟研究，掌管和承担国度级项目10余项，颁发论文40余篇，申请和获授权国表里发现专利20余项，获日本细密工学会沼田留念论文、日本马扎克财团精采论文等项。任陕西省微型机械电子系统研究核心副从任，中国机械工程学会半导体及配备分会副从任委员、金刚石及成品分会常务委员，入选日本细密工学会国际青年会员。

　　(1) 内容要求：论文应未正在国表里刊物或会议上公开辟表或过。论文要达到国际、国内先辈程度，内容丰硕，对同业有很高的参考价值。

　　张鑫泉，上海交通大学长聘副传授，国际出产工程科学院（CIRP）通信会员。本科结业于工业大学；博士结业于新加坡国立大学；2013-2019年于新加坡制制手艺研究院任研究科学家、超细密加工尝试室担任人，兼任新加坡国立大学博士生导师；2019年插手上海交通大学机械取动力工程学院，次要处置超细密光学制制手艺和超细密配备仪器开辟的相关研究。获新加坡制制手艺研究院“最佳研究”；入选国度海外高条理人才（青年）、上海市青年五四章标兵。

　　周全，男，传授，上海大学钱伟长学院院长、上海市使用数学和力学研究所副所长。次要研究标的目的为湍流、热对流、尝试和计较流体力学，承担了国度精采青年科学基金项目、国度天然科学基金沉点项目、面上项目、正在Sci。 Adv。、PRL、JFM等期刊颁发论文100余篇，曾获国度级讲授二等、上海市和天津市天然科学等。目前担任中国力学学会常务理事、中国空气动力学会理事、上海市非线性科学研究会副理事长等。

　　大学机械系副研究员，华海清科股份无限公司高级参谋、正高级工程师，入选国度高条理人才支撑打算、国度先辈制制手艺人才，担任中国机械工程学会半导体配备分会副从任委员。次要处置化学机械抛光（CMP）、晶圆减薄手艺取配备的研究。做为手艺参取CMP和减薄配备的研发并实现了财产化冲破。颁发论文50余篇，授权专利超100件。获2023年度国度手艺发现一等（第四完）、天津市手艺发现一等（第二完）等多项励。

　　半导体配备涵盖光刻、刻蚀、离子注入、成膜、CMP等数十大类，其手艺前进需要获得根本材料取加工工艺、焦点零部件、配备零件设想取节制方式等多个层面的学术研究支持。为此，中国机械工程学会于2025年6月成立半导体配备分会，系我国首个半导体配备手艺范畴的学术组织，旨正在通过组织开展学术研讨、尺度扶植、交换、财产办事等工做，鞭策中国半导体配备手艺取财产成长。

　　申英男，浙江大学“百人打算”研究员，博士生导师，入选国度级高条理青年人才打算。担任集成电配备手艺范畴DLIS教育部工程研究核心副从任、中国机械工程学会半导体配备分会委员等职。次要处置面向半导体/集成电制制的微纳流体节制、极微污染物测控手艺研究，正在Physical Review Letters、Journal of Controlled Release等颁发论文20篇，申请/授权专利20项。以次要完获中国机械行业产教融合教育讲授立异大赛一等1项。

　　胡亮，浙江大学机械工程学院求是特聘传授、博士生导师、流体动力根本件取机电系统全国沉点尝试室固定，入选国度级高条理人才打算，担任集成电配备手艺范畴DLIS教育部工程研究核心从任、中国机械工程学会半导体配备分会总干事、SCI国际期刊《Flow Measurement and Instrumentation》副从编等职。次要处置面向半导体/集成电制制的超干净流控手艺研究，担任或参取研制超干净流控系统取零部件系列化产物，使用于近十类半导体配备取厂务系统。

　　为进一步鞭策半导体配备取零部件范畴的手艺冲破，推进学术界取财产界的交换取合做，供给展现最新研究的平台，《机械工程学报》取客座编纂团队筹谋了“半导体配备取零部件手艺”专栏，广邀半导体材料制制配备、晶圆制制取量测配备、芯片封拆取测试配备、零部件取材料等专业标的目的的专家学者，引见最新研究进展、切磋学科交叉立异、梳理财产脉络及面对挑和，集中展现半导体配备取零部件研发所涉及的科学问题、环节手艺、使用结果取前沿动向，推进学术界取财产界的交换互动，鞭策相关范畴的深切成长。

　　浙江大学“百人打算”研究员，国度高条理海外青年人才。处置高端集成电制制配备超干净流控系统及其受限制零部件的超干净设想、制制和检测的科学研究工做，担任中国机械工程学会半导体配备分会副总干事、集成电配备手艺范畴DLIS教育部工程研究核心副从任等职。掌管国度天然科学基金3项，浙江省“斥候”攻关项目1项，地方高校根基科研营业费专项2项。已正在SCI 期刊上颁发论文60余篇，他引次数600余次，授权发现专利30余项。